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射頻電源
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產品介紹
主要參數
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  • 技術參數：輸出頻率13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz，輸出功率500~5000W。

  • 應用領域：等離子清洗、等離子刻蝕、PECVD等。

功能特點

  • 能耗低、體積小、使用壽命長。

  • 控制精度高，穩定性高。

  • 面板可顯示和調節頻率、設定功率、正向功率、反射功率、負載功率。

  • 具有過壓、過流、過反射、過溫等保護功能。

  • 支持多種通訊協議。


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0379-62202805
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電話： 0379-62202805
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